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光学针孔检测单元。
射频(RF)放电型准分子灯外形长而平,在大面积光照范围内具有照射均匀,输出稳定的特点。与电晕放电方法,等离子体方法以及其他准分子灯相比,EX-400可确保高度准确,高调整度,高清洁都和高粘接度。
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